DUV光刻系统

半导体行业的工作母机

ASML的深紫外线(DUV)的光刻系统深潜入UV光谱打印形成该微芯片的基础的微小特征。

我们沉浸系统引领行业的生产率,成像和覆盖性能适用于大批量制造的最先进的逻辑和存储器芯片。

浸泡系统

沉浸系统是行业的工作母机。我们最新的NXT机器都显示出超过每天6000片的运行,有超过12个月的平均百分之五生产率提高的能力,支持我们客户的价值需求。我们不断创新我们的浸没系统,以满足未来节点的要求,从R&d共性与我们的EUV计划中受益,同时确保通过系统节点增强包的升级平台的可扩展性。由于这些包,任何NXT系统可以升级到最新的技术。万博manbetx官网登录

干式系统

芯片是由堆积在彼此顶部的许多层,并且它不一定光刻被用来生产这些层机器的最新和最伟大浸泡。在给定的芯片,可以存在使用EUV光刻机由一个或两个以上的层变得复杂,但可通常使用“较旧的”技术如干光刻系统被打印的其余部分。万博manbetx官网登录这无疑是更具成本效益的客户,因为这些老机器是购买和维护成本更低。

持续创新

我们将继续在生产力创新,在我们的TWINSCAN XT产品线(ARF,KrF或i线)的所有权和性能的成本,为都只有200和300mm晶圆尺寸。随着三维NAND内存成为主流,ASML公司开发的所有干式系统,能够解决这一技术的具体挑战,包括高地形层堆栈和晶圆翘曲,以及其他选项的广泛的产品组合。万博manbetx官网登录

在2016年,由于物联网,汽车和工业市场的强劲增长,我们推出了TWINSCAN XT扫描仪,它不仅有助于提高客户的晶圆厂的产出200毫米的版本,但也可以用来替换老旧的光刻设备现有200毫米晶圆厂。

ASML无尘装配