翻新系统

经典回归

翻新“经典”PAS 5500和双扫描光刻系统,以获得新的生活和新的目的

我们几十年,而不是几年测量机器的使用寿命。几乎每卖出单ASML光刻系统仍处于在客户工厂使用。

PAS 5500:
一台有历史的机器

在EUV,浸入式,甚至在我们的双扫描系统之前,都有PAS。


1991年,在公司成立7年后,我们推出了PAS 5500,这是万博苹果手机客户端我们的突破平台。该系统大大缩短了我们客户的制造时间,其模块化设计使他们能够使用同一系统生产多代先进芯片。

ASML翻新系统PAS 5500/1150C

系统翻新如何运作

在我们的林口工厂,穿着蓝色无尘室工作服的工程师们拆卸机器,清洗、修理和调整机器,以确保它们能按照原始的规格运行。

机器被拆成单独的模块,然后分别进行修理和测试。然后,它们被重新组装并集成到类似的新机器中,以满足所有原始的规格。然后我们给系统一个新的保证。ASML售出的PAS系统中,90%以上仍在使用。

“曲子我骑”

在翻新的过程中,我们还可以对机器进行升级,转换为不同的型号,或适应特定的用途。

PAS 5500是一种通用机器,可以适应许多新的市场和特殊的应用。例如,通过增加前后对齐,该系统可以优化MEMS芯片,如加速器(可以分辨哪个方向是“向上”的芯片)。该系统还适用于“通过硅通过”(TSV)应用,射频芯片,用于硬盘驱动器的薄膜头,或用于LED应用的弯晶片处理。吞吐量和覆盖的增强也可以降低大批量生产的成本。

到2030年及以后支持

通过我们的经典,或“成熟”技术的全面支持,我们保证长期和富有成效的生活ASML光刻系统。万博manbetx官网登录我们知道支持我们的客户更成熟的技术的价值,所以我们与他们合作,以创造持久的和灵活的解决方案。万博manbetx官网登录

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