黑色背景上的彩色代码行。

软件在ASML

我们的光刻机是高科技硬件和先进软件的混合

您可能认为ASML是一家硬件公司,但我们实际上拥有世界上最大、最先锋的软件社万博苹果手机客户端区之一。

软件对ASML很重要。随着计算机芯片尺寸的不断缩小,如果没有我们开发的软件,我们的客户不可能生产10纳米或更小的尺寸。

因此,我们的光刻机现在是高科技硬件和先进软件的混合。我们的开发团队在一系列的编码实践中工作,为影响电子工业核心芯片制造系统的复杂问题提供创新的解决方案。

嵌入式软件

我们所有的光刻系统都使用我们的嵌入式软件,它可以控制我们的机器。经过过去30年的开发,我们的嵌入式软件代码库现在由数百万行代码组成。我们越来越依赖于一种业界领先的技术,称为模型驱动工程(MDE)来改进我们的代码,为我们的业务提供竞争优势,并为我们的客户提供对我们的机器的完全信心。


扫描仪计量软件

软件还协调我们的光刻系统(也称为“扫描仪”)内强大的机电模块的行为。它需要以纳米级的精度快速定位硅晶片。


我们的扫描仪测量软件有帮助测量和补偿针对在生产过程中由于材料缺陷、温度波动或大气压力变化而不可避免地产生的亚纳米级误差。它计算 我们的 硬件 应该如何行为 来纠正这个问题,并协调 的许多组件来最大化系统性能

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应用软件

我们的应用软件允许我们的客户优化生产。它本质上是我们的“脱机”软件,用于系统校准、诊断、评估和自动化,帮助我们的客户与他们的系统交互。


用户界面位于我们的应用软件之上。这是一个越来越重要的组成部分,为越来越多的需要使用我们的应用软件的人提供无缝的用户体验,这要归功于不断进步的数字化。


计算光刻技术软件

计算光刻软件是半导体工业中一个相对较新的领域。这是一种用于重建刻线掩模的技术,因为当我们缩小到纳米分辨率时,硅晶片上的结构就会变形。


我们的工作在计算光刻专注于开发半导体图形化过程的准确预测。然而,今天的先进芯片拥有数十亿个晶体管,由此产生的仿真模型可以很快变得计算密集。因此,我们的计算软件也找到了简化模型的聪明方法。

一名洁净室技术人员使用应用软件为ASML光刻机提供服务。

将机器学习

我们的软件团队多年来一直在开发机器学习工具,以显著加快模拟和制造过程。


用于开发严格物理模型和机器学习模型的方法非常相似。两者都需要大量的实验结果和数据来形成预测,但机器学习在提高准确性和一致性的同时,节省了大量的时间和精力。


机器学习还提供了一个机会,可以更充分地利用制造环境中产生的大量数据,以加强过程控制。

大数据、人工智能和机器学习的概念与一个电路板。

利用大数据

我们的数据科学家处理的是极端复杂和海量数据的独特组合。他们需要以新颖的方式利用不同的数据源,并产生可操作的见解。这些见解可以创建新的产品,或提高整个公司现有产品和服务的能力、性能和效率。万博苹果手机客户端


例如,我们的计量系统产生了tb级的数据。提取、管理和分析如此庞大的数据以优化我们的机器是我们的软件开发团队面临的主要挑战。

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我们的每一台光刻机都配有数百个传感器-大约1500个在我们最新的EUV系统。这些监控系统内发生的一切:从映射晶圆表面和温度到验证刻线的位置和检查透镜的局部加热。一个光刻系统每周可以从这些传感器产生31兆兆字节的数据——这是哈勃太空望远镜一年收集数据的三倍。


快速反馈回路

数据只有在你能对其采取行动时才有用。这就是为什么我们的光刻系统有数千个促动器,可以精确地调整晶圆和刻线平台、透镜系统和光源的关键元素。这些可以根据需要精确地调整系统设置。


光刻系统中数据和执行器之间的连接是自动的。除此之外,我们还开发了强大的软件工具,可以分析来自光学计量和电子束检测的数据,以识别制造过程中的变化。有了这些知识,我们计算出我们的光刻系统的最佳设置,以确保制造过程产生最佳的结果。

想加入我们的软件工程师团队吗?您将获得解决挑战的自由和灵活性,并使我们的软件实现似乎是不可能的。查看我们的工作今天和应用。