NXE3400 Metrology.

计量与检测系统

使看不见的可见

提供速度和准确性,我们的计量和检查组合涵盖了制造过程的每一步,从研发到大规模生产。

我们与我们的计算光刻和图案化控制软件解决方案,我们的计量和检验组合有助于芯片制造商在大规模生产中实现最高产量和最佳性能。

产量光学计量

我们的RegitalStar光学计量解决方案可以快速准确地测量晶片上的图案质量。

电子束计量和检查

我们的HMI电子束解决方案有助于定位和分析数百万印刷图案中的单个芯片缺陷。