NXE3400 Metrology.

计量与检测系统

使看不见的可见

提供速度和准确性，我们的计量和检查组合涵盖了制造过程的每一步，从研发到大规模生产。

01./27.

我们与我们的计算光刻和图案化控制软件解决方案，我们的计量和检验组合有助于芯片制造商在大规模生产中实现最高产量和最佳性能。

产量光学计量

我们的RegitalStar光学计量解决方案可以快速准确地测量晶片上的图案质量。

ASML产量1375F光学计量系统

产量1375f.

快速，准确的产品内覆盖和用于后蚀刻过程监测的CD计量。

ASML EgityStar 380G光学计量系统

产量380g.

产量380G是产量375F的继承者，提供更快，更准确的后续开发覆盖和焦点测量。

ASML产量375F光学计量系统

产量375f.

无论您的过程条件如何，快速准确的预蚀刻覆盖和焦点测量。

电子束计量和检查

我们的HMI电子束解决方案有助于定位和分析数百万印刷图案中的单个芯片缺陷。

HMI ESCAN 600.

灵活的电子束检测解决方案，可在一个系统中检测多种缺陷类型。

HMI ESCAN 430.

用于3D NAND和其他先进芯片的过程开发和生产监控的快速电子束检验。

HMI EP5.

我们最高分辨率的电子束系统提供CD计量和芯片开发和生产监控的缺陷检测。