计量与检查系统

提供速度和准确性，我们的计量和检查组合涵盖了从研发到大规模生产的制造过程的每个步骤。

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我们的FARDSTAR光学计量解决方案可以快速，准确地测量晶圆上图案的质量。

快速，准确的光学计量学对设备覆盖的光学计量层，用于蚀刻后过程监测

快速，准确的产品内叠加层和CD计量，用于后蚀刻过程监测。

Fardstar 380G是Fardstar 375F的继任者，提供更快，更准确的后开发覆盖层和焦点测量值。

无论您的过程条件如何，快速准确的预蚀刻覆盖层和聚焦度量。

我们的HMI电子束解决方案有助于在数百万印刷图案中找到和分析单个芯片缺陷。

第一代多束（Multibeam）晶片检查工具用于在线缺陷检查应用程序

世界上第一个多个电子束（多层）晶片检查工具。

灵活的电子束检查解决方案，可检测一个系统中多种缺陷类型。

我们最高的分辨率电子束系统提供CD计量学和缺陷检测，用于芯片开发和生产监测。

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