ASML EUV光刻机概述页

EUV光刻系统

在大批量生产中提供最高分辨率的光刻技术,ASML的EUV机器正在推进摩尔定律。

利用13.5纳米的波长(接近x射线水平),我们的EUV技术可以在很小的范围内做大事。经过20多年的持续研发,我们的机器现在正准备为未来20年提供动万博manbetx官网登录力。

ASML TWINSCAN NXE:3400C EUV光刻机

TWINSCAN NXE:3400C

TWINSCAN NXE:3400C是我们最新一代的EUV光刻系统,结合了生产力、最高分辨率和最先进的覆盖和聚焦性能。

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ASML TWINSCAN NXE:3400B EUV光刻机

TWINSCAN NXE:3400B

TWINSCAN NXE:3400B支持7和5 nm节点的EUV批量生产。

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