ASML EUV光刻机概述页面

EUV光刻系统

塑造未来的光刻

ASML的EUV机器提供高批量生产中最高分辨率的光刻正在推动摩尔的法律前进。

使用仅为13.5纳米的波长(几乎X射线水平),我们的EUV技术可以在微小的规模上做大事。万博manbetx官网登录在20年内持续20年的持续研发,我们的机器现在正在推动下一页20。

ASML TWINSCAN NXE:3400C EUV光刻机

Twinscan NXE:3400C

Twinscan NXE:3400C是我们最新一代的EUV光刻系统,结合生产力,最高分辨率和最先进的覆盖和焦点性能。

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ASML Twinscan NXE:3400B EUV光刻机

Twinscan NXE:3400B

Twinscan NXE:3400B支持7和5 NM节点的EUV体积产生。

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