PAS 5500的三十年
开创性光刻平台的生命周期
6分钟阅读 -桑德·霍夫曼（Sander Hofman），2021年5月7日
2021年5月9日，自PAS 5500平台发货以来30年。PAS 5500塑造了ASML的市场成功和技术领导力 - 成为我们最长的光刻平台，也万博manbetx官网登录是我们最通用的产品线之一。
PAS 5500是为ASML命名的平台。在推出之前，ASML在光刻市场中排名第三，仅次于巨人尼康和佳能。但是，PAS 5500平台的成功很快将ASML提升到第二，并为其成长奠定了基础。
PAS 5500平台的早期广告。
从一开始就成功
PAS 5500来自1970年代飞利浦研究人员发起的一系列系统。该平台本身的名称是它的遗产和我们与飞利浦的长期关系：飞利浦自动步进（PAS）。
Ted Shafer的长期员工和现任ASML成熟产品销售经理一直与这个突破平台紧密相关。
泰德回忆说：“我加入了PAS 5500发射的同年 - 1991年。”“我的第一份工作是担任应用工程师，伴随着有史以来的第一个PAS 5500货物，该货物运往美国的F万博苹果手机客户端ishkill IBM。我的角色是优化系统性能，并帮助将新颖的系统带到客户的晶圆厂生产水平的成熟度。”
那些第一个PAS 5500系统以及TED为优化它们的努力，导致IBM引入了其系统/390家族，当时，这是“ IBM有史以来最强大的计算机”。
TED在IBM Fishkill办公室的前面安装了第一个PAS 5500。
随着PAS 5500的发展，TED在ASML的职业生涯也发展了，但是该平台从未遥不可及。到1996年，泰德（Ted“ i-line”光源到微米。这是25年后的这些系统之一，经过翻新和升级后，将开始其第三次生命，以帮助实现虚拟现实技术。万博manbetx官网登录
尖端的生活
Micron是世界上最大的计算机存储器和存储生产商之一。当时它也是ASML最大的客户，因此在PAS 5500平台的成功中发挥了作用。
TED解释说：“ Micron早日访问了最新技术，作为回报，我们获得了宝贵的反万博manbetx官网登录馈，可以帮助我们改善系统的性能。”“他们在PAS 5500/200上进行了大量投资，以至于他们不得不更新会计软件以适应一定价值的交易。”
最初，Micron使用的PAS 5500/200（分辨率为0.35 µm）在当天的尖端记忆芯片中创建了关键层。And as time, technology and market demands moved on, ASML’s PAS 5500 supported these developments through continuous improvement – in this case, introducing higher resolution i-line systems as well as krypton fluoride (KrF) and argon fluoride (ArF) systems to support even finer resolutions.
这款PAS 5500系统的新房屋，在Micron的芯片制造厂内。
超出关键的价值
随着新系统在Fabs上进行在线以生产更先进的芯片的关键层，较旧的系统仍在不断使用，但迁移到首选的光刻层，以减少关键层。Micron的PAS 5500/200系统就是这种情况。
但是，在2000年，主要行业从200毫米晶片转换为300毫米晶片，以支持更高的芯片产量并提高成本效率。ASML的许多较大客户决定将其生产迁移到Twinscan平台，与PAS 5500不同，该平台支持了较大的晶圆。在接下来的几年中，Micron出售了其200毫米晶圆加工设备基础。
“到2011年，我已经从ASML搬到了一家投资银行，该银行提供了租赁和再营销等金融服务的投资银行。Micron是我们的再营销客户之一，我负责向另一个客户出售其PAS 5500/200系统之一。” Ted补充说。
这是在半导体行业中非常普遍的“设备级联”的一个示例，它使各种规模和市场类型的制造商能够最大程度地提高其设备价值。通常，领先的客户可能会从不同的关键层的新光刻系统中获得10到15年的服务。然后他们将其出售给不想推动的制造商摩尔定律，但活跃于所谓的“超越摩尔”市场。这是一个数字电子设备符合模拟世界的领域，例如用于汽车，微电机电（MEMS）芯片的传感器芯片，例如加速度计，超低功率芯片和用于RF识别的芯片。
PAS 5500正在运行。
这些专业半导体的芯片制造商仍然关心尺寸，速度和功率，但它们不一定需要最先进的节点上最好的几何形状的尖端光刻。PAS 5500是这些芯片制造商的理想平台 - 提供负担能力和所需的生产率。
转售，翻新，回收
作为直接转售的替代方法，一些芯片制造商选择将其剩余光刻系统出售给ASML。
ASML长期以来一直活跃在使用的光刻设备市场中。它有翻新并转售超过500 PAS 5500系统。与直接转售不同，当ASML翻新系统时，它可以保证原始规格并提供完整的保修。这使买家相信他们正在获得可靠，高质量的系统。
根据当时的市场需求，翻新机器时，ASML也可能会将其重新配置为更高的规格，将其升级为较新的型号类型，甚至将其转换为新的波长。自2009年以来，通过从已安装的基础购买核心并回收核心的所有新PAS 5500系统都是通过购买核心来构建的。
“无论是翻新的工具还是新系统的再生心脏，我们仍在使用我们构建的PAS 5500的90％以上。除了确保对买卖双方的价值外，这种方法还通过最大程度地减少对新材料的需求和需要处置的废物数量来对半导体行业的“绿色经济”产生积极影响。” TED解释说。
新生活
因此，从Micron开始，然后在另一个客户获得第二次生命的系统进行了翻新并升级到PAS 5500/275，这是TED帮助编写原始规格的型号。它仍然是I线步进，但现在提供低至0.28 µm的决议，每小时最多100瓦夫。
回到ASML之后，TED再次监督了该系统向另一家主要技术公司的出售，在那里它已经开始了第三次终身，该公司帮助该公司为虚拟现实应用程序生产了创新的芯片。万博manbetx官网登录万博苹果手机客户端
这个使其长寿的系统有什么特别之处？实际上，什么都没有。PAS 5500系统的课程是其一生的故事 - 许多故事都有类似的故事。这就是为什么由于这个非凡的平台满30岁，它仍然保持强劲，并有助于满足对传感器，MEMS，芯片，光子学等需求不断增长的需求。
关于作者
- 桑德·霍夫曼
- 媒体关系经理
- 桑德（Sander）喜欢在ASML的数字渠道万博manbetx官网登录上将技术，故事和媒体融合在一起。他白天是一个通讯家伙，晚上有抱负的编剧，也是一个怪胎。
