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光刻 - 使用光在硅上打印微小图案 - 是批量生产微芯片的基本步骤

自1984年以来,ASML的光刻解决方案的半导体行业的创新领导者已经在这种微小的秤上进行了巨大的跨利赛。在我们的技术中,硬件符合软件,为硅质量制作模式提供全面的方法。万博manbetx官网登录

所有关于芯片

Microchips通过许多名称:集成电路,半导体芯片,电脑芯片或,最简单,芯片。无论你称之为什么,这些微小的硅是数字世界的基础。他们制作智能手机,汽车,医疗设备等许多其他现在的常见设备 - 而且他们得到的细微是我们在日常世界中实现的先进技术。万博manbetx官网登录他们可能很小,但它们的影响是巨大的。


了解芯片
通过duv镜头看的晶圆特写镜头。

光刻原则

光刻系统基本上是投影系统。通过将打印的图案的蓝图投射光(称为“掩码”或“掩模版”)的蓝图。蓝图是芯片上的预期图案的四倍。利用在光中编码的图案,系统的光学器件收缩并将图案缩小到光敏硅晶片上。在打印图案之后,系统稍微移动晶片并在晶片上进行另一个副本。


重复该过程直到晶片以图案覆盖,完成一层晶片芯片。为了进行整个微芯片,该过程将重复100次以上,铺设图案顶部的图案。要打印的特征的大小根据层而变化,这意味着不同类型的光刻系统用于不同的层 - 从我们最新一代EUV系统中最小的功能,最大的功能最小。


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软件

如果我们的硬件创新是蝙蝠侠,那么软件就是它的罗宾。即使您可能知道ASML作为硬件公司,我们实际上拥有世界上最大,最先进的软件社区之一。万博苹果手机客户端我们的光刻系统不可能在没有我们开发的软件的情况下在这种日益小的尺寸下制造芯片。因此,我们的光刻系统现在是高科技硬件和先进软件的混合动态。我们的开发团队在一系列编码实践中工作,为复杂问题提供创新的解决方案,这些问题会影响电子工业中心的芯片制作系统。


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彩色代码线在黑背景的。