自1984年以来,ASML的光刻解决方案是半导体行业的创新领导者,一直以这种微小的规模突飞猛进。在我们的技术中,硬件符合软件,以提供整体方法来在硅上生产大规模生产模式。万博manbetx官网登录

关于筹码

微芯片有很多名称:集成电路,半导体芯片,计算机芯片或最简单的芯片。无论您称它们为什么,这些微小的硅都是数字世界的基础。他们使我们的智能手机,汽车,医疗设备以及许多其他现在常见的设备成为可能 - 并且他们获得的更细微,我们在日常世界中所认识到的更先进的技术。万博manbetx官网登录它们可能很小,但是它们的影响是巨大的。


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通过杜夫镜头看到的晶圆特写。

光刻原理

光刻系统本质上是一个投影系统。光线通过将要打印的图案的蓝图(称为“面具”或“标线”)投射出来。蓝图是芯片上预期图案的四倍。随着图案在光线下编码,系统的光学器件收缩并将图案聚焦到光敏的硅晶圆上。打印图案后,系统将稍微移动晶片,并在晶圆上制作另一个副本。


重复此过程,直到晶圆被图案覆盖,完成晶片的一层。为了制作整个微芯片,此过程将重复100次或更长时间,将图案放在图案之上。要打印的功能的大小取决于层的不同,这意味着不同类型的光刻系统用于不同的层 - 从我们最新的EUV系统用于最小的功能到最大的旧DUV系统。


了解光刻
晶圆在ASML EUV光刻机器内暴露

软件

如果我们的硬件创新是蝙蝠侠,那么软件就是它的罗宾。即使您可能知道ASML是一家硬件公司,我们实际上是世界上最大,最先锋的软件社区之一。万博苹果手机客户端对于我们的光刻系统来说,如果没有我们开发的软件,就不可能在如此小的尺寸上制造芯片。结果,我们的光刻系统现在是高科技硬件和高级软件的混合体。我们的开发团队在各种编码实践中工作,为影响电子行业核心芯片制造系统的复杂问题提供了创新的解决方案。


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黑色背景上的彩色代码线。