历史

根植荷兰,遍布全球

30多年的匠心和毅力

阿斯麦有着丰富的创新和合作历史。了解我们是如何成长为今天半导体行业的领导者的更多信息。

20世纪80年代

由于他们在埃因霍温的Strijp T在Philips建筑物附近的棚屋迁移到了新的宿舍,我们的创始人永远无法想象在仅仅三十年中,ASML将成为全球创新领导者。

20世纪80年代:卑微的开端

1984年,电子业巨头飞利浦和芯片制造商先进半导体材料国际公司(ASMI)成立了一家新公司,为不断增长的半导体市场开发光刻系统。万博苹果手机客户端我们被称为ASM平版印刷(ASM Lithography),在荷兰埃因霍芬飞利浦(Philips)办公室旁边的一间漏水的棚子里开始了我们不走运的日子。在研发的基础上,自20世纪70年代早期就开始了工作,同年我们推出了我们的第一个系统,PAS 2000步进器。


我们发展迅速,飞利浦和ASMI扩大了投资,帮助ASML取得了成功。1985年,我们拥有100名员工,搬进了位于维尔德霍文(Veldhoven)的新建办公室和工厂,那里距离飞利浦的研究实验室只有几公里。1986年,我们将PAS 2500步进器推向市场,其特点是新的对准技术,这将是我们机器中许多未来创新的基础。万博manbetx官网登录同年,我们与镜头制造商卡尔蔡司建立了现有的合作关系。


到1988年,飞利浦在台湾建立了合资铸造厂后,我们开始打入亚洲市场。在美国,我们从几个员工发展到84人,分布在5个办公地点。但在竞争激烈、供应商众多的市场中,这家来自荷兰的不知名的小公司却未能抓住机会。万博苹果手机客户端阿斯麦的顾客很少,无法自立。更糟糕的是,股东ASMI无法维持高水平的投资,而回报却很低,于是决定退出,而此时全球电子行业的形势开始恶化,飞利浦宣布了一项大规模的成本削减计划。我们这家年轻的、吞噬现金的光刻公司前途未卜。万博苹果手机客户端在对研发工作的坚定信念和对资金的迫切需求的引导下,ASML的高管们找到了飞利浦董事会成员亨克·博特,博特说服了他的同事们提供最后的帮助。

20世纪90年代

在这十年中,我们推出了PAS 5500这一突破性平台。这些经典的光刻系统至今仍在客户的晶圆厂中使用。

20世纪90年代:从出手相助到IPO

投资良好使用。在一年中,我们推出了一个突破性的平台,PAS 5500.凭借其行业领先的生产力和解决方案,PAS 5500带来了ASML所需的关键客户来盈利。这是成熟的第一步。1995年,ASML成为一家全自民族的公共公司,在阿姆斯特丹和纽约证券交易所上市。万博苹果手机客户端飞利浦在IPO销售了一半的股票,并在接下来的几年里售罄。该首次公开募股将资本进一步推动我们的增长,我们将我们的研发和生产设施扩大到Veldhoven的De Run,后来成为我们的新总部。

2000年代

在21世纪的头十年,我们大幅度提高了我们的系统的分辨率,浸泡技术,和生产力,我们的革命性的双阶段双扫描技术。万博manbetx官网登录

2000年代:Twinscan和浸没技术铺平了道路万博manbetx官网登录

2001年,我们介绍了Twinscan系统及其革命性的双阶段技术。万博manbetx官网登录这些系统暴露一个晶片,而下一个晶片正在测量并对齐,这使得系统的生产率和准确性最大化,为客户提供了促进所有权价值。Twinscan:1150i作为2003年第一台浸没机推出的,其次是Twinscan XT:1700i,第一批生产机器浸没,2006年。2007年,我们发布了第一个193nm浸没系统(Twinscan XT:1900i)。通过这种新技术,我们使客户能万博manbetx官网登录够通过将光线突出通过镜头和晶片之间的一层水来产生更小的芯片特征。

2007年后,我们收购了Semiconsal设计和制造优化解决方案的领先提供商。这是我们“整体光刻”策略的开始。我们联合我们对光刻系统的知识,具有技能,以优化光刻前,期间和之后的芯片制造过程。我们整体光刻策略的早期阶段的另一个关键产品是ErityStar,我们的计量系统提供了在芯片制造期间的实时测量和校正。第一个收益率(250D)于2008年发货。

ASML Twinscan NXE 3350B EUV光刻系统

2010年

从2010年开始,我们通过引入EUV光刻再次改变了半导体行业的脸部。

21世纪10年代:整体时代

2010年,我们将第一个原型极端紫外线(EUV)光刻工具(NXE:3100)发布到亚洲芯片制造商的研究设施,标志着光刻新时代的开始。EUV光刻使用较短波长的光来制造较小的芯片功能,从而更快,更强大的芯片。

2013年,我们收购了总部位于圣地亚哥的光刻光源制造商Cymer,以加速EUV的开发。同年,我们推出了第二代EUV系统(NXE:3300),随后在2015年推出了第三代EUV系统(NXE:3350)。2016年EUV光刻技术迎来了转折点,客户开始批量订购我们的第一个可生产的NXE系统:3400台。在此期间,我们继续改进我们的浸没式光刻系统的性能,NXT1970Ci和NXT1980Di,这两个芯片行业的主要产品,已经安装在世界各地的客户工厂中。欲了解更多信息,请访问Cymer


2016年,我们收购了领先的电子束计量工具供应商Hermes Microvision (HMI),从而扩大了我们的整体光刻产品组合。ASML和HMI的联合努力导致了2017年第一批电子束模式保真度计量系统(ePfm5)的交付。在荷兰的电子束光刻公司Mapper破产后,我们收购了IP资产。万博苹果手机客户端研发和生产部门的员工将继续创新和发展电子束技术。万博manbetx官网登录欲了解更多信息,请访问爱马仕微孔