历史

超过30年的独创性和毅力

ASML的历史充满了创新和协作。阅读更多信息,以了解我们如何发展成为今天的半导体行业领导者。

1980年代

当他们在埃因霍温(Eindhoven)Strijp t的飞利浦建筑物附近的棚子里搬进了新宿舍时,我们的创始人永远无法想象,在短短的三十年中,ASML将成为全球创新领导者。

1980年代:谦虚的开端

1984年,电子巨头飞利浦和芯片机制造商高级半导体材料国际(ASMI)创建了一家新公司,以开发不断增长的半导体市场的光刻系统。万博苹果手机客户端我们被称为ASM光刻,我们开始了我们的时代,位于荷兰埃因霍温(Eindhoven)的飞利浦办公室旁边的一个漏水中。自1970年代初以来一直在进行的研发基础上,同年我们推出了第一个系统,即PAS 2000步进。


我们迅速发展,飞利浦和Asmi扩大了他们的投资,以帮助使ASML取得成功。1985年,有100名员工加入了船上,我们搬进了距离飞利浦研究实验室仅几公里的Veldhoven的新建办公室和工厂。1986年,我们将PAS 2500步进器带到了市场,采用了新的对齐技术,这将是我们机器中许多未来创新的基础。万博manbetx官网登录同年,我们与镜头制造商Carl Zeiss建立了现有合作伙伴关系。


到1988年,在飞利浦在台湾建立了一家合资铸造厂之后,我们开始在亚洲市场上进行公路。在美国,我们从几个员工增长到84岁,分布在五个办公室地点。但是,在激烈的竞争和许多供应商的市场中,荷兰的小型不知名公司无法休息。万博苹果手机客户端ASML的客户很少,无法站在自己的两只脚上。更糟糕的是,股东ASMI无法在很少回报的情况下维持高水平的投资,而全球电子行业的情况则更糟,而飞利浦宣布了一项庞大的成本削减计划。我们年轻的现金交换光刻公司的生活悬而未决。万博苹果手机客户端在对正在进行的研发和迫切需要资金的强烈信念的指导下,ASML高管与飞利浦董事会成员Henk Bodt接触,后者说服他的同事们为最后的帮助提供了帮助。

1990年代

在这十年中,我们启动了最突破平台,即PAS5500。这些经典的光刻系统仍在使用客户fabs。

1990年代:从帮助到IPO

投资充分利用了。在一年中,我们启动了一个突破性平台,即PAS5500。凭借其行业领先的生产力和解决方案,PAS 5500带来了ASML所需的利润所需的主要客户。这是成熟的第一步。1995年,ASML成为一家完全独立的上市公司,并在阿姆斯特丹和纽约证券交易所上市。万博苹果手机客户端飞利浦在IPO上出售了一半的股份,并在接下来的几年中出售了其余的股份。IPO带来了资金,以进一步推动我们的增长,我们扩大了在Veldhoven的De Run的研发和生产设施,后来成为我们的新总部。

2000年代

在2000年代,我们通过革命性的双阶段双胞胎技术,通过沉浸技术和生产力大大改善了系统的解决方案。万博manbetx官网登录

2000年代:Twinscan和Immersion Technolo万博manbetx官网登录gy铺平了道路

2001年,我们介绍了Twinscan系统及其革命性的双阶段技术。万博manbetx官网登录这些系统在测量和对齐下一个晶圆时暴露了一个晶圆,这最大程度地提高了系统的生产率和准确性,从而提高了我们客户的所有权价值。同年,我们完成了对硅谷集团的收购为了进一步增强ASML在半导体技术进步中的能力。Twinscan AT:1150i在2003年首次成为第一台沉浸机,其次是Twinscan XT:1250i,XT:1400I,在2006年,第一批沉浸式生产机器,XT:1700i。在2007年,我们以数值1.35的数字孔径为Twinscan XT:1900i浸入系统,是行业中最高的。借助这项新技术,我们使客户能万博manbetx官网登录够通过镜头和晶圆之间的一层水投射光,从而生产较小的芯片功能。

2007年晚些时候,我们收购了Brion,这是半导体设计和制造优化解决方案的领先提供商。这是我们“整体光刻”策略的开始。我们将对光刻系统的知识结合在一起,以在光刻之前,期间和之后优化芯片制造过程。在我们整体光刻策略的早期阶段,另一个主要产品是Fardstar,这是我们的计量系统,该系统在芯片制造过程中提供了实时测量和校正。2008年,第一个Fardstar(250D)被运送给客户。

ASML Twinscan NXE 3350B EUV光刻系统

2010年代

从2010年代开始,我们再次通过引入EUV光刻来改变半导体行业的面貌。

2010年代:整体时代

2010年,我们将第一个原型Extremeviolet(EUV)光刻工具(NXE:3100)运送到了亚洲芯片制造商的研究设施,这标志着光刻新时代的开始。EUV光刻使用较短的波长的光来制造较小的芯片特征,从而产生更快,更强大的芯片。

2013年,我们收购了位于圣地亚哥的光刻光源制造商Cymer,以加速EUV的发展。当年,我们在2015年发行了第二代EUV系统(NXE:3300),第三代EUV系统(NXE:3350)。EUV光刻在2016年转弯,当时客户开始订购我们的第一个适用于生产的System NXE:3400分。在此期间,我们继续改善沉浸式光刻系统的性能,芯片行业的工作马NXT1970CI和NXT1980DI已安装在世界各地的客户工厂中。有关更多信息,请访问Cymer


我们在2016年扩展了整体光刻作品集爱马仕微型(HMI),电子束计量工具的领先供应商。我们的共同努力导致了2017年的电子束模式忠诚度计量系统(EPFM5)的第一次发货。


在2018年清算了位于荷兰代尔夫特的高科技公司映射器之后,万博苹果手机客户端ASML同意获取公司的知识产权资产万博苹果手机客户端。我们还为Mapper在研发和产品集会工作的高技能员工提供了合适的职位。

ASML客户支持工程师一直在使用增强现实来帮助海外客户

2020年代

没有人可以预测这个十年黎明时世界将面临的挑战。然而,我们的团队坚持不懈,达到了一些重要的里程碑。

2020年代:前所未有的挑战,令人印象深刻的创新

2020年初,EUV进入了大型制造业,我们庆祝了第100届EUV系统装运。但是2020年也很重要,原因是另一个原因:19009年的大流行。我们全世界的团队通过创新新方法来证明他们适应和即兴创作的能力从远处支持客户,,,,借用他们的专业知识对大流行的反应并伸出支持我们当地社区


我们的下一代EUV平台的开发较高的数值孔径为0.55(“高NA”)也加剧了。该平台称为EXE,具有新颖的光学设计,并且阶段更快。我们将在2023年将第一个EXE系统运送给客户。


2020年11月,收购Berliner Glas Group完成,我们正式欢迎柏林人Glas团队加入ASML家族。该小组的技术玻璃部门是被剥离为格拉斯·特隆斯集团2021年4月。