光刻原则

光刻的基础知识,芯片制造过程中的关键步骤

微芯片通过在硅晶片上构建复杂的晶体管,层层,层。ASML的光刻系统是该过程的核心。

光刻(更正式称为“光刻”)系统基本上是投影系统。通过将打印的图案的蓝图投射光(称为“掩码”或“掩模版”)的蓝图。

利用在光中编码的图案,系统的光学器件收缩并将图案缩小到光敏硅晶片上。在打印图案之后,系统稍微移动晶片并在晶片上进行另一个副本。

芯片背后的科学