瑞利判据

决定芯片上的特征能被打印多小的分辨率方程

CD = k1λ / na

瑞利判据方程

在瑞利准则方程中,CD临界尺寸,或尽可能小的特征尺寸,以及λ波长光的使用。


NA数值孔径定义了他们能收集多少光。


最后,k1(或k1因素)是一个取决于与芯片制造过程相关的许多因素的系数。光刻的物理极限是k1= 0.25。

当推动k时,采用较小的光波长和较大的数值孔径(NA)相结合的方法可以获得较小的临界尺寸1尽可能接近物理极限。


小的极限

半导体行业的很多研发都集中在降低关键尺寸上。阿斯麦的光刻机以极高的分辨率印刷,帮助芯片制造商进一步降低这一关键尺寸。


更先进的微芯片意味着更小的功能,这需要更短的光波长,更强大的镜头和/或更低的k1的因素。减少光波长是一项重大的技术变革,它需要新的光刻机和新的光源,以及新的(光学和抗蚀剂万博manbetx官网登录)材料和新的工艺。但它也给芯片性能带来了最大的进步。


在这些波长步骤之间,工业的进步是由透镜显影和减少k1通过巧妙地调整光刻工艺和技术,例如计算光刻。

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