ASML研究员Antoine Kempen

Antoine Kempen

EUV光学和收藏家寿命的先驱

“我发现非常重要的是保持光线。我们都在工作中遇到压力,但是如果您可以通过幽默来保持情感上的脱离,那么可以更快地提出解决方案就可以自由。”

Antoine利用他在化学和材料科学方面的专业知识来打击EUV(极端紫外线)光源和光学的污染和发展突破性清洁技术,从而增加了零件的寿命。万博manbetx官网登录


他还为DUV晶圆桌的寿命做出了重大贡献 - 制定涂料和翻新策略,最终使ASML的覆盖路线图。

认识安托万
  • 自2008年以来的ASML员工

  • 2022年命名

  • 总部位于Veldhoven,荷兰人


关键贡献

  • EUV光学和收藏家寿命以及DUV晶圆涂层和腐蚀解决方案的系统设计

专业知识

材料科学与化学


专利

在25个ASML专利家庭中持有16项美国专利

ASML Antoine Kempen院士站在Technology Jos Benschop高级副总裁的权利。万博manbetx官网登录他举起同胞奖。他们都站在ASML徽标下。

了解有关Antoine的更多信息

正如ASML的第一材料科学研究员一样,安托万(Antoine)证明,在光刻机器方面,材料很重要。


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