Jo Finders,ASML的研究员

Jo Finders

在光刻成像系统中实现摩尔定律的延续

"If you ask some people here what I’ve done over the past 25 years, they might say, ‘Oh, just imaging’. And that’s true – except for the ‘just’. Imaging is a really broad field – and it’s getting even broader again with EUV.”

Jo Finders是一位成像专家。他通过在微芯片上越来越小的特征来实现摩尔定律的贡献。


这些贡献包括他在双重图案上的工作,以及最近 - 通过扫描仪将EUV光学成像推向极限以及掩盖优化,同时始终专注于客户需求。

认识乔
  • 自1997年以来的ASML员工

  • 2006年被任命

  • 总部位于Veldhoven,荷兰人


关键贡献

  • 低k1成像,接近度匹配以及双重曝光和双图案的优化

专业知识

成像应用


专利

在47个ASML专利系列中持有50项美国专利