汉斯·巴特勒
在光刻扫描仪的准确性上捕获全局
“当某些事情出乎意料的行为时,我才能停止思考,直到我理解原因。无论是空调单元还是标线阶段无法正常工作,我只需要找到解决方案即可。”
汉斯·巴特勒(Hans Butler)是光刻扫描仪动态和控制方面的专家。他对扫描仪模块动力学及其交互以及控制体系结构进行了综合视图,以优化整体系统精度。
2012年,汉斯(Hans)被任命为埃因霍温大学(Eindhoven Technology)的兼职教授,在那里他正在教育下一代控制工程师。万博manbetx官网登录