汉斯·巴特勒(Hans Butler),ASML的研究员

汉斯·巴特勒

在光刻扫描仪的准确性上捕获全局

“当某些事情出乎意料的行为时,我才能停止思考,直到我理解原因。无论是空调单元还是标线阶段无法正常工作,我只需要找到解决方案即可。”

汉斯·巴特勒(Hans Butler)是光刻扫描仪动态和控制方面的专家。他对扫描仪模块动力学及其交互以及控制体系结构进行了综合视图,以优化整体系统精度。


2012年,汉斯(Hans)被任命为埃因霍温大学(Eindhoven Technology)的兼职教授,在那里他正在教育下一代控制工程师。万博manbetx官网登录

认识汉斯
  • 自1991年以来的ASML员工

  • 2010年被任命为同伴

  • 总部位于Veldhoven,荷兰人


关键贡献

  • 阶段和其他扫描仪模块的控制技术

专业知识

扫描仪动力学和控制


专利

在126个ASML专利系列中持有129项美国专利