Weiming Ren,ASML研究员

Weiming Ren

电子束检查系统的领先权威

“我对工作和生活的哲学:我总是试图找出问题背后的基本原因。第一步是快速解决问题 - 下一个是尽可能提高解决方案。”

Weiming Ren最初受到光子光学的教育,已成为电子光学专家。她被认为是ASML在单光束和多光束电子光学设计方面的领先权威。


她为ASML-HMI的宽场光学元件做出了许多贡献,这反过来又使2020年ASML客户的第一个多光束电子束系统检查系统运送了。

了解Weiming
  • 加入HMI2007年,自2016年以来与ASML一起

  • 2018年被任命为同伴

  • 总部位于圣何塞,美国


关键贡献

  • 电子光学在检查中的设计计量学电子束工具

专业知识

电子光学设计,电子束计量和检查


专利

在56个ASML专利家庭中持有52项美国专利