HMI

HMI于2016年加入ASML家族后，已成为我们整体光刻作品集的组成部分，并具有创新的电子束检查解决方案

01/21

HMI的历史

The company – formerly called Hermes Microvision, Inc. – launched its R&D operations in Silicon Valley, gathering some of the brightest minds in physics, electron optics, image processing, software, electronics and control, and mechanical structure to address the semiconductor industry’s growing challenges with shrinking microchips.

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就像ASML一样，HMI从一个小型团队和大创意开始。该公司是万博苹果手机客户端由四位顶级科学家（Jack Jau，Zhong-Wei Chen，Chung-Shih Pan和Yi-Xiang Wang）于1998年创立的，这是Hermes Epitek Group主席Archie Huang，他认识到市场需求和行业需求，对高级电子束的需求认识检查设备。

晶圆检查市场由光学检查系统主导，但是随着IC制造的技术超出了90纳米节点，光学工具的局限性变得太明显了。万博manbetx官网登录到2003年，HMI的研发团队已经开发了第一个解决方案：它成功地开发了Escan300，这是该公司的第一个电子束检查系统。万博苹果手机客户端Escan凭借其独特的LeapNScan检查模式和长电子枪寿命，提供了一种高级检查工具，可以与半导体行业的其他创新保持同步。

2004年，HMI将其总部搬到了台湾的Hsinchu科学园，并开始扩大其全球业务。同年，它在塔南科学园（Tainan Science Park）建立了塔南（Tainan）分支机构，以扩大其生产能力。HMI在接下来的十年中继续增长，在日本，韩国和中国以及其他国家开设分支机构和子公司，同时开发和推出新工具：EP2，Escan Lite和Escan315。

接下来的几年是运动，增长和荣誉的伟大运动：HMI注册为新兴股票公司，获得了ISO 14001：2004和ISO 9001：2008三年期评估认证，并赢得了国家中小型企业奖和潜在奖万博苹果手机客户端台湾Mittelstand奖。沿途推出的更新，更高级的电子梁检查设备，包括Escan400，Escan320，Explore，Escan500，Ep4，Skyscan5000和Nanoscan3000。

HMI因其复杂的电子束检查系统而成为半导体行业中真正的领导者和备受推崇的名字。在2016年，作为互惠协议的一部分，ASML获得了HMI。两家公司正在互相帮助，增强了产品范围，并将半导体行业推动得更快。