HMI Escan 1000
世界上第一个多个电子束（多层）晶片检查系统。
关键功能和好处
作为世界上第一个多个电子束（Multibeam）晶圆检查工具，Escan 1000在高分辨率晶圆检查中提供了巨大的飞跃。
针对3 nm节点的研发，这是我们的多光束路线图中的第一步，将高通量，高分辨率的电子束检查带入体积制造环境中。
01.吞吐量
ESCAN 1000的速度比以前的电子束晶片检查工具快600％，这要归功于其多层技术，高速晶片阶段和高级计算算法。万博manbetx官网登录
02.多冰技术万博manbetx官网登录
ESCAN 1000在3x3阵列中具有9个电子梁，实现了更快的扫描。它的单源体系结构可确保使用最大的灵活性，同时将光束之间的串扰保持在最低限度，以获得更可靠的结果。
03.多模操作
ESCAN 1000可用于物理缺陷检查和电压对比度缺陷检查。这使其可以检测到电缺陷（包括开放，短和泄漏缺陷），并将缺陷降至10 nm。
