HMI Escan 1100

01.吞吐量

对于单个电子束检查工具，ESCAN 1100具有25束，ESCAN 1100最多将增加15次，这要归功于其多层技术，高速晶圆阶段和高级计算算法。万博manbetx官网登录

02.关键技术

与Escan 1000，ESCAN 1100包括一个改进的电子光学系统，能够创建和控制具有更高分辨率的25个主电子束，收集和处理所得的二次电子，最大程度地减少光束到光束串扰的串扰，并在所有光束上提供一致的成像质量。

它还具有一个高速阶段，以增加系统的整体吞吐量和高速计算体系结构，以实时处理多个Beamlet的数据流。高级充电控制（ACC）和高压洪水技术提供了全面的充电控制功能，以处理逻辑和内存设备的挑战性电压对比度检查层。万博manbetx官网登录

此外，其专有的模具到数据库的缺陷检测能力使芯片制造商能够进一步增强缺陷敏感性，并使用晶圆打印检查监测EUV面膜缺陷。它能够检测出在需要单个电子束解决方案的一小部分时间内被光学检查系统忽略的缺陷，从而可以在高量制造中更广泛地采用多冰块检查。

03.多模操作

ESCAN 1100可用于电压对比度缺陷检查和物理缺陷检查。这使其可以检测到电缺陷（包括开放，短和泄漏缺陷），并将缺陷降至7 nm。