ASML研究员Jan Baselmans

Jan Baselmans

解决光学系统中的复杂挑战

“我在伊利亚斯(Ilias)上做了很多工作 - 但我从不想被视为'ilias先生'。如今,任何遇到光学系统遇到复杂挑战的人都知道在哪里可以找到我。”

Jan Baselmans是一名光学专家。他在ILIAS的发展中发挥了作用 - 一种在光刻扫描仪中的光学传感器,可测量晶状体畸变。该传感器可以快速准确地测量镜头加热,从而使控制回路可以纠正它。


Jan还参加了ASML的指导计划,支持下一代技术领导者。

认识扬
  • 自1994年以来的ASML员工

  • 2012年被任命为同伴

  • 基于Veldhoven, 荷兰人


关键贡献

  • Ilias波前传感器和随后的镜头对照

专业知识

光学, 包含光源,照明和投影系统


专利

持有100个ASML专利家庭的142项美国专利