ASML宣布安装第一个HMI ESCAN 1100 Multibeam系统

ASML今天宣布了其HMI ESCAN 1100的首次客户安装，这是第一个用于在线收益增强应用程序的多个电子束（多层）晶片检查系统，包括电压对比度缺陷检查和物理缺陷检查。

与当前使用的单个电子束检查系统相比，ESCAN 1100有25束（5x5），最多可将吞吐量增加15倍。它提供了敏感性和速度客户需要涵盖研发中的广泛缺陷类型，以进行过程开发，以及用于游览监视的大批量制造。

ASML公司HMI首席执行官Yu Cao表示：“ Escan 1100项目确实始于ASML和HMI在领先技术节点上认识到缺陷检查的市场差距。”万博manbetx官网登录万博苹果手机客户端“需要更准确的缺陷检查，以捕获小的小缺陷，尺寸为10 nm，吞吐量高，以获得足够的晶圆面积覆盖率。ESCAN 1100多光束系统填补了这一空白。”

Escan 1100的专有模具到数据库缺陷检查能力可以进一步增强灵敏度和吞吐量，以使用WAFER PRINT CHECK进行最苛刻的应用程序，例如EUV蒙版缺陷监控。ESCAN 1100可以检测到当前在需要单个电子束解决方案的时间内被光学检查系统忽略的缺陷。

HMI产品营销主管Gary Zhang表示：“ 2020年5月，HMI运送了第一台Escan 1000，这是一个关键的技术演示者，实现了强万博manbetx官网登录大的应用学习和设计改进。”“ Escan 1100将这些学习与改进的电子光学系统和高速阶段相结合，以增加系统的总体吞吐量。此外，高速计算体系结构实时处理来自多个光束的数据流。”