新闻稿 -Veldhoven，荷兰，2000年3月8日
在对光刻供应商进行广泛评估之后，马来西亚Silterra Sdn。Bhd。选择了ASM光刻（ASML）作为光刻供应商，以配备Silterra的新的所有基于扫描仪的半导体制造设施，该设施计划在2001年第一季度之前运营。对于Silterra运营的成功至关重要。在对I-Line和Deep UV的成像技术和生产率性能进行了广泛的评估之后，Silt万博manbetx官网登录erra选择了ASML的PAS 5500/400 I-Line和PAS 5500/700 Deep UV步骤和扫描系统。
K.C.表示：“ ASML使用其PAS 5500扫描仪显示出高生产率和关键层成像性能，我们需要为客户提供最先进的设计规则，过程能力和竞争价格。”Silterra运营副总裁Ang。
PAS 5500/700深紫外线扫描仪具有最高的NA（0.70），当与ASML专利的高强度空中照明器结合使用时，可提供每小时120瓦金脂的高量吞吐量，生产分辨率为150 nm。PAS 5500/400是行业的第一个I线步骤和扫描系统，优化可与PAS 5500/700系统相匹配，该系统使制造商可以在不牺牲晶圆吞吐量和工厂生产力的情况下使用较低的I线流程来进行较低的关键层。
“ PAS 5500技术平台万博manbetx官网登录已被全球领先的铸造厂和记忆IC制造商认识到生产力基准，在该制造商中，经济高效的运营对业务成功至关重要。我们很高兴Silterra经过非常彻底的评估，已经认识到我们的技术。ASML销售副总裁Dave Chavoustie说：“领导力和选择的ASML是其业务的主要供应商。”
关于Silterra
成立于1997年12月的马来西亚Silterra Sdn。Bhd。是一家提供全方位服务的半导体制造提供商，可为客户提供领先的流程技术。Silterra的工厂将在2001年第一季度运营，到2002年，每月升至30,000八英寸的晶圆。Silterra将立即访问LSI Logic在许可技术中的能力，以使客户资格和培养客户。Silterra总部位于马来西亚库里姆市，在加利福尼亚州的桑尼维尔设有销售和营销办公室。可以在公司网站上获得更多信息万博苹果手机客户端www.silterra.com。
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ASM光刻成立于1984年，是高级光刻系统的世界领导者，对综合电路的制造至关重要。ASML在阿姆斯特丹交易所和纳斯达克股票市场上公开交易。访问公司的网站万博苹果手机客户端www.porsat.com想要查询更多的信息。
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