Seagate为新的薄膜头部深紫外线步进ASML SA的第一订单

ASML的特种应用部（ASML SA）在Seagate Technology Inc.上安装了第一个SA 5500/TFH300深紫外线，这是世界上最大的Read-Write头，磁盘和磁盘驱动器的制造商。万博manbetx官网登录这标志着两家公司之间的第一家业务。ASML SA于1999年9月引入的薄膜头（TFH）成像的两个新的紫外线型光刻系统之一将由Seagate用于GMR（巨型磁铁耐药性）TFH生产。

Seagate Recording Head Advance Advanced Process Technology的Seagate副总裁Jeff Lacroix表示：“ ASML SA在TFH底物上的新深紫外线步万博苹果手机客户端进和该公司在深紫外线光刻方面的技术领导能力的优越对齐和成像性能是我们购买决定的关键因素。”万博manbetx官网登录

SA 5500/TFH300步进的行业领先的共线性性能（能够在多个图像字段上进行直线打印，不间断的线路），低镜头失真和0.25微米的分辨率使系统能够处理具有超过10 gigabytes the tfhs的TFHS平方英寸。该系统每小时可以处理超过120个六英寸的底物，其模式覆盖精度<45 nm。它设计为一​​种多功能生产工具，具有可容纳最大4.5英寸和圆形TFH底物直径高达8英寸且厚2毫米的TFH基板的灵活性。