Sawtek从ASML特殊应用程序接收I线光刻系统

ASML的特殊应用部（ASML SA）在与Surface Pave（SAW）组件制造商的第一家业务中，已在Sawtek Inc.在佛罗里达州奥兰多市郊外的Sawtek Inc.的制造厂安装了PAS 5500/250C I-Line Stepper。能够实现次半微粒分辨率，光刻工具将用于生产用于电信应用的SAW过滤器。

“ PAS 5500/250C系统对0.35微米设计规则的严格CD控制，并能够准确地对齐我们在生产高性能锯组件和基于锯的子系统时与ASML SA合作的关键因素，这是我们与ASML SA合作的关键因素，” Sawtek的采购经理Michael Berger说。“我们根据ASML SA的客户重点和积极满足我们先进的成像需求的能力选择。”

锯设备将电信号转换为声波，使其通过固体传播介质，然后将它们重新转回电信号，从而实质上过滤噪声。为了生产其产品，Sawtek使用了石英，硝酸锂和tantalate锂制成的特殊底物，它们均具有独特的晶体结构。PAS 5500/250C能够快速准确地对齐传入的晶圆，因此步进器的照明路径精确地定向了底物结晶结构。

“我们很高兴在ASML SA的新客户中包括Sawtek，这是Sawtek。专业应用程序，” ASML SA部副总裁兼总经理Eduard Hoeberichts说。Hoeberichts继续说：“市场研究公司IC Insight估计，全球蜂窝手机的运输将在2000年增长38％至3.56亿辆。”“为了满足这一需求，索特克（Sawtek）等公司正在升级其技术能力和制造能力，我们在这里为这一过程提供了专业知识。”

PAS 5500/250C将0.35微米的分辨率与行业领先的覆盖性能为45 nm或更少，作为独立系统或85 nm或以下的机器对机器匹配。吞吐量大于每小时93 200毫米晶片。该系统具有ASML的AerialTM Illuminator，这是一种多功能组件，既可以在传统和离轴照明模式和高强度之间进行切换，并具有高强度，以实现下一代设备的经济质量生产。