ASML MaskTools提供散射型bar IP，可与Mentor Graphics的口径软件一起使用

进一步缩小了半导体设计与制造业之间的差距，ASML MaskTools是ASM光刻的全资子公司（阿姆斯特丹交易所和纳斯达克和ASML），以及Mentor Graphics Corporation（NASDAQ：MENT），提供了1999年12月从1999年12月提供协作协议的前三个交付能力。。This agreement –the first between an advanced imaging solution provider and a leading electronic design automation (EDA) company – offers combined expertise in imaging equipment, EDA software and advanced processes to create a total integrated process solution, now required for successful silicon yield at sub-wavelength geometries.

首先可交付：ASML MaskTools现在提供未捆绑的制造许可证，使晶圆厂可以轻松许可ASML MaskTools获得专利的散射型酒吧知识产权（IP）。这项新政策使选择Mentor Graphics的CALIBRE®软件变得直接，用于散射bar创建。

第二可交付：现在可以为指导图形和ASML客户提供共同撰写的“口径散射杆申请指南”，以优化口径流中的散射棒的创建。

第三可交付：Calibre Workbench是版画家创建口径过程模拟模型并验证Calibre批处理工具设置的交互式软件。ASML最先进的成像系统允许使用类星体多极照明器。

专门为类星体设计的共同资格的口径“照明模型”将添加到2Q00 Caliber Workbench版本中。Caliber的散射棒功能强烈补充其统一的移相面罩（PSM），光学与过程校正（OPC）和行业标准硅与布局验证软件的统一套件。将ASML MaskTools的散射酒吧专业知识，服务和IP与Calibre软件相结合，将为180 nm光刻及以后提供更具成本效率的设计和生产照片。

ASML MaskTools总裁兼ASML副总裁Doug Marsh表示：“ ASML面具型散射型技术的专利散射技术改善了过程的纬度，使光刻舒适，同时也可以在晶圆产出方面提供一致的质量。”“高级半导体设备的生产商依靠这项技术来确保其领先IC设计的制造性。我们对Mentor-Asml协作感到非常满意。Ca万博manbetx官网登录libre是实施和验证所有主要光学扩展布局设计技术的领先工具-PSM，OPC，当然还有散射条。”

“ ASML是高级成像设备的领导者，ASML MaskTools是成像系统的过程融合，抵抗和光学扩展技术的专家，” Mentor图形IC验证和制造性部门总经理Brian Derrick说。“我们的共同客户获得了值得生产的光刻解决方案，因为我们的协作提供了经过验证的成像系统，流程整合专业知识以及行业标准的验证和制造性软件。”

为了帮助客户实施散射型杆技术，ASML MaskTools还提供了一系列流程整合产品和服务，包括用于掩万博manbetx官网登录蔽制作的缺陷敏感性监测器，测试蒙版数据库，过程优化/校准软件和技术培训课程。由于其一流的等级引擎，全球支持和领先的市场份额，因此建议使用Caliber用于实施PSM，OPC和散射棒。在最近的测试中，在4 CPU工作站上处理了2.5倍的2.5倍数据量增加的4 CPU工作站，在1小时内处理了2000万轨道逻辑芯片的聚层。1小时内完成了540万替补，388 MB ASIC，并改善了0.91倍的数据量。

Marsh补充说：“除了为与Mentor Graphics的未来合作工作打开大门外，这款新的捆绑IP产品产品还可以显着扩展ASML MaskTools在美国，欧洲和亚洲，包括日本在内的ASML MaskTools的客户群。”

散射型技术可以显着增加过程的纬万博manbetx官网登录度和芯片产量，尤其是在180 nm设计规则及以下的光刻生产中。通过将这些子分辨率功能添加到掩模设计中，改进了焦点和ISO密度匹配的深度，从而在晶圆厂中获得了更好的CD控制。诸如OPC，PSM，散射条和离轴照明等光学扩展技术越来越多地用于当今的光刻设备中，以打印小于180 nm的功能尺寸。这些技术正在扩展光刻系统的应用，并有望在进化光刻以及下一代光刻系统中发挥关键作用。ASML MaskTools的政策是，每个希望制作和使用包含ASML MaskTools散射式bar IP的光罩的工厂都应从ASML MaskTools获得制造许可证。散射型制造许可证专门由ASML MaskTools出售。使用散射杆技术来创建和使用包含散射棒的光罩的权利可以直接从ASML万博manbetx官网登录 MaskTools以每季度25,000美元的价格使用摄影剂使用。作为参考，此许可费少于单个移位面膜的典型成本。

注意：ASML MaskTools散射式制造许可证完全独立于口径软件许可，而Mentor Graphics并不是ASML MaskTools知识产权的代理商或分销商。