ASML MaskTools许可向IBM散射BAR技术万博manbetx官网登录

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新闻稿 -2000年7月10日，加利福尼亚州圣克拉拉

ASML的全资子公司ASML MaskTools今天宣布，国际商务机器（IBM）（NYSE：IBM）已许可获得ASML MaskTools获得专利的散射BAR技术，用于制造具有应用程序特异性集成电路（ASICS）（0.13 Micron（0.13 Micron））（0.13 Micron（0.13 Micron）万博manbetx官网登录）设计规则。该许可证允许IBM开始使用光学扩展技术来生产带有高级芯片设计的R＆D和批量生产的光罩。万博manbetx官网登录

该许可协议标志着世界上最大的信息技术公司ASML MaskTools和IBM之间的第一家业务。万博manbetx官网登录万博苹果手机客户端ASML面具散射条形技术扩展了光学成像技术，并显着提高了亚波万博manbetx官网登录长度的焦点。这使得一个更广泛的过程窗口和具有成本效益的光掩膜，这些属性在制造ASIC中特别有益。通过在光掩膜上启用子分辨率功能的设计，散射型技术可以大大提高具有150 nm功能尺寸及以下设备的工艺产量。万博manbetx官网登录这些子分辨率特征增加了晶圆晶圆厂中成像过程的焦点深度。光学扩展技术，例如光学接近度校正，相移，散射杆和离轴照明，使半导体公司能够延长远远超出次波长屏障的深紫外光刻寿命。

ASML MaskTools总裁道格·马万博manbetx官网登录什（Doug Marsh）表示：“我们的散射型电池技术是该行业最先进，最完整的制造解决方案，用于使用当今的光学工具。”“我们为全球领先的半导体公司IBM感到非常自豪，他选择了我们的技术来支持其下一代芯片生产能力。”万博manbetx官网登录万博苹果手机客户端

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ASML成立于1984年，是高级光刻系统的世界领导者，对综合电路的制造至关重要。ASML在阿姆斯特丹交易所和纳斯达克股票市场上公开交易。访问公司的网站万博苹果手机客户端www.porsat.com想要查询更多的信息。

manbext手机官网关于ASML面具

ASML MaskTools，Inc。是一家位于加利福尼亚州圣克万博苹果手机客户端拉拉的ASML公司。该公司专万博苹果手机客户端注于提供一系列光学扩展技术来增强光刻过程的纬度，从而提高了制造业的IC收益率。光延伸技术已成为必不可少的，因为光刻继续用于曝光光源波长以下的体积制造。MaskTools和Maskrigger是ASML的商标。

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