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它在ASML EUV系统内变得非常热 - 实际上比太阳表面更热。发现您可以在ASML上使用万博manbetx官网登录的技术。
您可能已经听说过EUV光刻，这是ASML完全独有的技术。万博manbetx官网登录但是您是否知道它使用极端紫外线（EUV）光，波长为13.5纳米？
这种光自然发生在外太空。但是为了在地球上产生EUV光，我们的系统包含激光生产的等离子体（LPP）源。
这是在ASML系统中创建EUV光的方式：
- 微小的熔融锡液滴从发电机中以每秒70米的速度射击。
- 低强度的激光脉冲将它们扁平化成煎饼形。
- 一个更强大的激光脉冲 - 在约500,000 K的温度下比太阳表面高 - 使锡煎饼蒸发。这会产生一个发出EUV光的等离子体。
- 为了产生足够的光以制造微芯片，此过程每秒重复50,000次。
准备使用激光精确吗？
在此视频中，在我们的研究部门工作的斯科特（Scott）解释了为什么我们使用EUV光及其生成方式。
