Fardstar 380G
Fardstar 380G是Fardstar 375F的继任者，提供更快，更准确的后开发覆盖层和焦点测量值。
关键功能和好处
FARDSTAR 380G光学计量系统通过基于衍射的测量值快速准确地监测了产品叠加层和焦点性能。
它针对后期开发（暴露后）计量学来监视和控制以及光刻系统的稳定性和匹配。它提供轨道集成和独立版本，可在任何过程条件下提供连续的波长操作，以最大程度地测量精度。
01.精度测量
FARDSTAR 380G提供了当今最先进的芯片监视和控制过程所需的纳米水平精度。
02.更多速度，更多数据
与Fardstar 375F相比，Fardstar 380G提供了增加的吞吐量，并且在整体批次处理时间方面，吞吐量更快。
03.过程鲁棒性
Fardstar 380G提供了425和885nm之间的连续波长选择。中央波长选择非常精确（1NM），并且可以定制测量光的带宽，这使芯片制造商可以精确优化测量波长以适合其特定层堆栈。FARDSTAR 380G具有更快的波长切换时间，并增加了源功率与更快的传感器相结合，这可以改善多波长的采集移动量度量化（MAM）时间（MAM）时间，而不是Faredstar 375F。
计算计量选项
我们的计算计量选项为我们的客户提供了每个双胞胎生产晶片的高密度叠加图，而不会增加计量能力。通过先进的计算机建模，它结合了我们的Twinscan光刻系统在每个晶圆上已经在每个晶圆上进行的高密度预曝光晶片映射与FARDSTAR计量数据。由此产生的致密焦点和覆盖地图实现了晶圆级的过程控制，可以将覆盖性能提高10-20％。
