瑞利标准
分辨率方程式,该方程式可以打印芯片上的特征的小小
cd = k1 • λ / NA
瑞利标准方程
在瑞利标准方程中,光盘是个关键维度,或最小的功能大小,并且λ是个波长使用的光。
NA是个数值光圈在光学器件中,定义了它们可以收集多少光。
最后,k1(或者k1因素)系数取决于与芯片制造过程有关的许多因素。物理极限光刻是k1= 0.25。
通过使用较小的光波长和较大的数值光圈(NA),可以实现较小的临界维度,同时推动K1尽可能接近物理极限。
分辨率方程式,该方程式可以打印芯片上的特征的小小
cd = k1 • λ / NA
在瑞利标准方程中,光盘是个关键维度,或最小的功能大小,并且λ是个波长使用的光。
NA是个数值光圈在光学器件中,定义了它们可以收集多少光。
最后,k1(或者k1因素)系数取决于与芯片制造过程有关的许多因素。物理极限光刻是k1= 0.25。
通过使用较小的光波长和较大的数值光圈(NA),可以实现较小的临界维度,同时推动K1尽可能接近物理极限。