HMI Escan 600

HMI Escan 600

这种灵活的电子束检查解决方案检测一个系统中的多种缺陷类型。

关键功能和好处

Escan 600是一种高度灵活的电子束晶片检查系统,可以以多种模式运行,从而使芯片制造商可以捕获单个系统中最广泛的缺陷类型。

加上高吞吐量和超细检测分辨率,这种多功能性有助于削减芯片研发和升级的成本。

01.多功能性

ESCAN 600可用于物理缺陷检查,电压对比度缺陷检查和反向散射电子(BSE)模式的材料对比度缺陷检查。这意味着模式缺陷,电缺陷(包括开放,短和泄漏缺陷)以及材料对比缺陷只能通过一个系统检测到材料对比缺陷。


02.灵敏度

ESCAN 600提供了极高的缺陷检测分辨率,以识别子设计规则模式缺陷。例如,它可以检测物理缺陷的大小几纳米,从而为最先进的微芯片提供有效的研发。In addition, GDS (graphic design system) assisted features such as GDS pattern-of-interest and GDS binning use design information to enhance defect sensitivity and classification.ESCAN 600也可以连接到Supernova,以支持在线模具到数据库(D2DB)检查,该检查使用其他设计信息来进一步提高灵敏度。


03.吞吐量

ESCAN 600包括许多功能,以增加检查吞吐量。我们的专利技术使一个独特的万博manbetx官网登录视野(120 µm x 120 µm)可以在不损害灵敏度的情况下增加吞吐量。连续扫描模式可为电压对比度和较大的物理缺陷提供高吞吐量检查,而Skyscan模式可在短短几个小时内扫描预识别的位置中数百万个风险。