Twinscan NXE：3400B
ASML的Twinscan NXE：3400B支持7和5 nm节点的EUV量产生。
13.5 nm
EUV光波长
13 nm
解析度
0.33 Na
投影光学
≥125
每小时晶圆
关键功能和好处
Twinscan NXE：3400B支持7和5 nm节点的EUV量产生。
NXE：3400B结合了生产率，出色的图像分辨率，与EUV NXE和ARFI NXT工具和焦点性能相匹配，并提供了与ASML ARFI技术相辅相成的光刻功能。万博manbetx官网登录
01.生产力
在以下条件下，NXE：3400B的300 mm晶圆吞吐量目标规范大于或等于每小时125瓦夫：剂量：20mj/cm2，模具大小：26 x 33毫米，96张射击。
02.光学
Twinscan NXE：3400B步骤和扫描系统包括ZEISS 4X降低EUV EUV光学器件，数值（NA）为0.33，最大扫描曝光场大小为26 x 33 mm。
NXE：3400B照明旨在扩展离轴照明成像功能，并具有高级自由式瞳孔成型，可在最佳生产率下进行低k1成像。此外，工作范围的Sigma从0.2 - 0.9至0.06 - 1.0增加，以最佳使用投影透镜成像功能。
03.成像性能
NXE：3400B可以实现1.4 nm的专用Chuck覆盖层和2 nm的匹配机器叠加层。覆盖精度是在整个场上和整个晶圆上测量的。
晶圆比对在测量位置发生，并使用ASML验证的相位光栅比对技术使用SMASH对齐传感器进行目标检测。
NXE：3400B基于紫外线源，与其前身NXE：3350b结合了相同的级别传感器，该传感器可从晶圆膜堆栈变体中降低高度过程依赖性。
