记住ASML的前首席科学家比尔·阿诺德(Bill Arnold)

5分钟阅读 -卢卡斯·范·格林文(Lucas Van Grinsven),2021年1月7日

为什么有些初创公司失败而其他创业公司成功不仅是出色的战略和执行的结果,而且是愚蠢的运气和陌生人的友善。ASML今天存在的事实部分是由于一个人 - 一个人散发着仁慈和慷慨,辉煌和明确的思想。


As manager of VLSI lithography development at microprocessor maker Advanced Micro Devices (AMD), William (‘Bill’) Arnold gave up-and-coming ASML a shot to prove itself in the latter half of the 1980s by helping ASML obtain its first orders by an important external customer.

但是他做得不仅如此。比尔还从荷兰进行了辅导和教育渴望但经验不足的团队。

“当时,ASML坦率地说,不知道应该做一个好的步进。ASML总裁兼首席技术官马丁·范·登·布林克(Martin Van Den Brink)回忆说,在AMD的所有年份中,比尔都相信我们,并与我们度过了大量时间。万博manbetx官网登录“他教我们如何使光刻在晶圆厂工作。没有这种教育,ASML将不会成功。如果没有AMD的初始命令并得到比尔的支持,ASML将不再存在。”

比尔努力说服AMD管理团队接受这家年轻的荷兰初创公司。尽管比尔(Bill)从1980年才加入AMD,但在从芝加哥大学获得物理学硕士学位后不久,他已经在1980年代中期在光刻领域为自己取名。

科学家和行业观察家克里斯·麦克(Chris Mack)说:“在AMD,他将对成像的理论理解与实践的知识融合了。”Lithoguru地点。

需要令人信服的人之一是AMD当时的新研发经理比尔·西格尔(Bill Siegle)。比尔·阿诺德(Bill Arnold)于1991年将这项新法案陪伴给Veldhoven,后者正在检查ASML建立高级200毫米晶体晶体步进概念的主张。比尔·西格尔(Bill Siegle)刚从IBM出发,随身携带了对Perkin Elmer和GCA表现不佳的光刻工具的不好的回忆。

Bill Arnold左,在2013年颁发了Martijn Leenders奖。

马丁·范·丹·布林克(Martin van den Brink)回忆说:“比尔·西格尔(Bill Siegle)问我,我当场争辩说是'不是问题'。”“回去时,正如比尔·阿诺德(Bill Arnold)后来与我分享的那样,比尔·西格尔(Bill Siegle)不信任我的主张,他认为我'令人难以置信的傲慢。’”


比尔·阿诺德(Bill Arnold)不得不顺利进行,并捍卫他对ASML的选择。他成功地说服了比尔·西格尔(Bill Siegle),AMD最终获得了来自ASML的新工具。这是一个重大的意外收获,因为由于缺乏销售,ASML几乎破产了。


几年后,即1996年12月,ASML首席执行官Willem Maris和Martin van den Brink被邀请在世界各地的一次累人旅行之后向AMD Management展示其路线图。在会议期间,比尔询问了193 nm在ASML路线图上的位置。ASML团队简短地回答说没有193 nm(ARF)计划,因为它仅提供了相对于248 nm(KRF)的边际收益。


几个月后,在1997年的SPIE期间,比尔向ASML坦言,他们给出了错误的答案 - AMD订购了SVG的竞争系统,因为ASML没有193 nm的计划。在少数ASML工程师中爆发了激烈的讨论,而Bill Arnold出席了会议。几天后,在周一凌晨,ASML首席科学家Steef Wittekoek和Martin van den Brink提出了ASML自己的193 NM计划,他们在周末在Tahoe湖上锤击了Bill Arnold和Bill Siegle。比尔·西格尔(Bill Siegle)持怀疑态度,但同意查看ASML是否可以执行它。仅六个月后,ASML通过了许多关键里程碑,AMD取消了SVG订单。两年后,AMD是世界上第一个拥有193 NM技术的芯片制造商。万博manbetx官网登录


“如果不是比尔的干预,ASML可能不会做出正确的选择。即使在今天,ARF还是量制造的主要平台。


1998年,比尔·阿诺德(Bill Arnold)加入Veldhoven的ASML,担任新的首席科学家,取代了刚退休的Steef Wittekoek。在这个角色中,他负责指导光刻产品开发,以便满足半导体设备制造商的长期要求。


2001年,比尔·阿诺德(Bill Arnold)搬回美国,在亚利桑那州坦佩(Tempe)启动,领导和塑造ASML技术开发中心(TDC)。万博manbetx官网登录TDC与ASML的客户合作开发下一代光刻流程。他能够吸引几位世界知名的专家加入TDC,包括Donis Flagello,Mircea Dusa和Bob Socha。他一直处于这个职位,直到2019年退休。


ASML技术高级技术副总裁Jos Benschop说:“ Bill就我们的客户使用了旧版的使用,提供了重要的见解,他在定义我们的'整体'核心战略和应用业务方面发挥了作用。”万博manbetx官网登录“但最重要的是,我们会记住他是一个明智而有爱心的人。”


比尔的另一个持久遗产是ASML的同伴计划。作为TDC的首席科学家兼负责人,比尔知道科学和工程是ASML的核心,但该公司缺乏认可和回报卓越的系统 - 除了将其最佳工程师晋升为高级管理职位,这是一种职业道路,这是一条职业道路万博苹果手机客户端通常将这些工程师脱离科学。


多亏比尔,自2000年以来,每年6月在ASML技术会议上,ASML将其一两个最聪明的头脑称为同伴。万博manbetx官网登录研究员被晋升为高级工作,而没有干扰管理职责。他们继续进行科学探索,并在执教并鼓励下一代出色的年轻ASML工程师时树立榜样。


比尔本人也许是好奇心永远不会休息的最好的例子。他继续研究新技术,例如人工智能和量子计算,及其对ASML的潜在影响。即使退休后,他仍在参与其中,并于2019年9月向ASML的监督董事会技术委员会报告了新兴技术。万博manbetx官网登录


比尔(Bill)也曾在2013年担任国际光学和光子学会SPIE主席。

在整个光刻和SPIE社区中,[Bill]因其友好,风度翩翩,聪明和脚踏实地的方法而闻名,并非常感谢。” Spie在Memoriam中写道。


很高兴与比尔一起工作的人对他的诚实和直截了当的态度印象深刻。他是技术人员,经理,同事和朋友,受到极大的尊重。


2020年SPIE总裁John Greivenkamp说:“比尔当然对SPIE和光刻界产生了重大影响。”“但是我永远记得比尔的是,他只是我见过的最好的人之一。”


比尔·阿诺德(Bill Arnold)于2020年12月27日去世。比尔的家人要求向任何纪念捐款没有边界的医生

比尔·阿诺德(Bill Arnold)和他的妻子简。照片由Spie提供。

关于作者

  • 卢卡斯·范·格林文(Lucas Van Grinsven)
  • 沟通主管
  • +31 610 199 532
  • 卢卡斯对高科技产业的发展感兴趣。他担任国际记者和局外人15年。为了满足他的好奇心,他不可避免地成为接下来15年的内部人士。最重要的是,他喜欢与每天塑造我们技术世界的明亮思想和温和的灵魂一起工作。万博manbetx官网登录