ASML第一代多微型检查系统“ Escan 1000”

系统提供改进的物理缺陷检查的吞吐量,大多数高级技术节点的电压对比度检查万博manbetx官网登录

新闻稿 -2020年5月28日,加利福尼亚州圣何塞

ASML Holding NV(ASML)今天宣布,它已完成对5 nm节点及以后的第一代HMI Multibeam检查(MBI)系统的系统集成和测试。HMI ESCAN 1000显示了成功的多束操作,同时在许多测试晶片上扫描了9束。使用九个光束,与单个电子束检查工具相比,ESCAN 1000将增加高达600%的吞吐量,用于有针对性的在线缺陷检查应用。


新的MBI系统包括一个能够创建和控制多个主电子梁的电子光学系统,然后收集和处理所得的次级电子束,将光束到光束串扰限制在小于2%,并提供一致的成像质量。它还具有一个高速阶段,以增加系统的整体吞吐量和高速计算体系结构,以实时处理多个Beamlet的数据流。


ASML的HMI产品营销副总裁Gary Zhang说:“随着每种新技术的关键维度继续缩小,'杀手'缺陷越来越小,到万博manbetx官网登录达了许多人不再可通过光学检查检测到的地步。”“我们的新的多束检查系统能够检测到这些较小的缺陷,同时解决以前的电子束吞吐量约束,以使其更适合大容量制造环境。”


通过提供一系列梁电流,ESCAN 1000适用于物理缺陷检查和电压对比度检查。这使客户能够针对研发中的各种缺陷类型,以进行过程开发和大量制造,以进行游览监控。


此外,其专有的超新星模具到数据库缺陷检测能力使芯片制造商可以使用晶圆打印检查监视EUV面膜上的缺陷。它检测到光学检查系统所忽略的缺陷,在很短的时间内,它需要单个电子束解决方案才能进行大容量制造。


本周的第一个多微型检查系统已发送给客户的资格。ASML计划增加子孙后代的光束和梁分辨率的数量,以与芯片制造商的产品路线图要求保持一致。

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